半导体气体过滤器

恒歌半导体气体过滤器  专业气体过滤器OEM制造商

恒歌是一家领先的专业半导体气体过滤器制造商，我们提供广泛的一系列专门设计的滤波器，可满足各种半导体的需求。

制造工艺包括IGS气体过滤器、气体扩散器、高压高纯气体过滤器、工艺气体过滤器、真空系统气体过滤器和仪表保护专用气体过滤器。

恒歌的工艺气体过滤器采用精密工程和优质材料，确保最大效率和可靠性，使其成为半导体生产中关键应用的理想选择。

当然，我们还为烧结金属气体过滤器的孔径、外观和结构等特殊要求提供OEM服务。

产品特点及规格:

1、耐高温、耐高压、耐腐蚀

2、整体316L不锈钢结构

3、适用于多种工艺气体

4、高通量、低阻力

5、超高颗粒拦截效率

6、100%氨气检露测试

7、内置0.003-100微米过滤器

8、出口气体各杂质含量小于5ppb

9、可配置两阀、三阀和四阀等组件 

透气孔径：

纳米级：3nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米级的：0.003-100μm

恒歌金属滤材气体过滤器有着多种规格型号、可提供OEM定制服务、可按照您的需求设计生产、为您的项目提供最专业的过滤解决方案!

为什么在半导体制造过程中需要使用气体过滤器?

在半导体制造领域，气体过滤器是确保生产工艺稳定、产品质量可靠的核心部件。其重要性体现在对污染物的高效拦截、超高纯度气体的保障、设备的保护以及产品良率的提升等多个关键层面。

一、气体过滤器在半导体制造中的作用

1. 污染物高效去除

半导体制造流程包含光刻、蚀刻、化学气相沉积(CVD)等精密工艺，对环境洁净度要求极高。哪怕是粒径极小的灰尘颗粒、微量潮气或化学残留物，都可能引发半导体晶圆表面缺陷、电路短路等问题，严重影响产品性能与成品率。气体过滤器能够精准拦截工艺气体中的颗粒污染物、气态杂质以及气溶胶，为晶圆制造营造洁净的气体环境。

2. 维持超高纯度标准

半导体器件的性能与可靠性直接取决于生产过程中所用气体的纯度。杂质气体的混入，如氧气、水蒸气、有机化合物等，可能与半导体材料发生化学反应，导致器件电学性能下降、使用寿命缩短。气体过滤器通过多级过滤技术，可将工艺气体纯度提升至 99.999% 以上，有效满足半导体制造对超纯气体的严苛需求。

3. 精密设备防护

CVD 反应器、等离子蚀刻机等半导体制造设备价值高昂且结构精密，对气体纯净度极为敏感。气体中的污染物会造成设备内部管路堵塞、部件腐蚀、反应腔室污染等问题，不仅增加设备维护成本，还会导致频繁停机。气体过滤器作为设备的 “防护盾”，能够有效隔离污染物，延长设备使用寿命，保障生产连续性。

4. 保障产品良率

在半导体制造中，产品良率直接关系到企业经济效益。据统计，因气体污染导致的产品缺陷可使良率降低 10%-30%。气体过滤器通过持续提供纯净气体，可显著减少因污染引发的产品不良，确保生产效益最大化。

5. 确保产品质量一致性

稳定的生产环境是保障半导体产品质量一致性的关键。气体过滤器可有效避免因气体杂质导致的工艺波动，确保每一批次产品都能达到严格的质量标准，提升产品市场竞争力。

6. 减少非计划停机

气体污染引发的设备故障会导致非计划停机，打乱生产节奏，造成巨大经济损失。气体过滤器通过稳定气体质量，可降低设备故障率，减少停机时间，提高生产效率。

7. 化学兼容性保障

半导体制造过程中使用的气体，如硅烷、氨气、氯气等，多具有强腐蚀性或高反应活性。气体过滤器采用特殊材料和结构设计，能够在恶劣化学环境下稳定运行，确保气体过滤效果与设备安全。

二、我们的半导体气体过滤器类型

1. BF大宗气体专用过滤器

功能：专为超高纯工艺气体在线过滤设计，过滤精度高达0.003μm，确保高流通量下低阻损，满足超高纯工艺需求。

材料：采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计，整体金属构造，耐高温、耐高压、耐腐蚀。

应用场景：适用于多种工艺气体，适用于洁净室环境内制造、测试、包装，是高温动态环境下的理想过滤解决方案。

2. TF系列工艺气体专用过滤器

功能：精准清除UHP超纯气流微粒，保障生产纯净度，安装简便，仅需气路对接与螺母紧固，避免焊接风险，确保密封无忧。

材料：采用顶级316L不锈钢全材打造，结构紧凑轻盈，大幅降低压力损耗，展现卓越微粒过滤效率。

应用场景：适用于多种工艺气体，适用于洁净室环境内制造、测试、包装，是工艺气体净化的理想之选。

3. SF系列IGS面板专用过滤器

功能：用于集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度，支持高达100slpm的大流量。

材料：全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术，电解抛光316L不锈钢外壳。

应用场景：采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效，适助力设备升级无忧。

4. MF系列仪器保护专用过滤器

功能：全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口，采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。

材料：整体316L不锈钢结构，耐高温、耐高压、耐腐蚀。

应用场景：在高达400℃环境下，能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄露风险，可选择低压型或高压型，也可在现有配管上安装，为精密设备提供经济高效的防污屏障。

5. DF系列扩散器专用过滤器

功能：专为真空腔体快速放气应用设计，结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，过滤精度可达0.003um，可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

材料：独特的全316L不锈钢结构，不锈钢粉末烧结介质，耐高温、耐高压、耐腐蚀。

应用场景：减少工艺腔体排气时的湍流，适用于多种工艺气体，洁净室环境内制造、测试、包装，100%完整性测试通过，100%氨气泄露检测通过，防止微粒混入，帮助提高产品合格率。

6. HF系列高压气体专用过滤器

功能：用于高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统，坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力，兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命，能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物，保护系统免受污染，滤芯可更换，维护简便。

材料：整体316L不锈钢结构，轻量化、小型化，螺纹连接，确保密封性，兼容C型和W型多种密封规格。

应用场景：适用于多种工艺气体，过滤效率高，不易堵塞，安装与检修便捷高效，100%完整性测试通过，100%氨气泄露检测通过。

7. RF系列多孔金属限流器

功能：通过与不同规格的气阻配件结合，安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中，以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障引起的意外高气体流量，在半导体制程气体输送分配系统中，用于保护气体流量稳定可靠，减少气体流动负担，避免气体过载引发不良后果。

材料：结构紧凑，节省空间，316L不锈钢结构，无结构弯曲或颗粒脱落。

应用场景：可用于高流量、高温度与高压力环境，减少气体流动负担，不易堵塞，可形成层流整体，使用寿命长，100%氨气泄露检测通过。

8. KF系列真空系统气体过滤器

功能：易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程，有效提升产品产量和设备吞吐量，在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3.000.000次循环。

材料：减少工艺腔体排气时的湍流，适用于多种工艺气体，洁净室环境内制造、测试、包装。

应用场景：广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。

9. 0F系列在线式专用气体过滤器

功能：专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm，结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体，适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒。

材料：采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。

应用场景：在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求，可选其它点位在线安装，方便快捷，100%完整性测试，100%氨气检漏测试。

三、半导体气体过滤器常见问题解答

1. 如何科学选择和设计半导体气体过滤器?

选择和设计半导体气体过滤器需综合考虑以下关键因素：

气体纯度要求：根据具体工艺对气体纯度的要求，确定过滤器的过滤效率等级和过滤精度。

气体流量与压力：依据实际气体流量和工作压力，选择合适尺寸和结构的过滤器，确保气体顺畅通过。

污染物特性：分析气体中污染物的类型、浓度和颗粒分布，针对性选择过滤介质和过滤技术。

工作环境：考虑温度、湿度、腐蚀性等环境因素，选择具备相应耐受性的过滤器材料。

成本与维护：综合评估过滤器的购置成本、使用寿命、更换周期和维护难度，实现性价比最大化。

2. 半导体气体过滤器的更换周期如何确定?

过滤器更换周期受多种因素影响，通常建议采用以下方法确定：

定期更换：根据行业经验和设备制造商建议，设定固定更换周期，一般为 6 - 12 个月。

压差监测：实时监测过滤器前后端的压力差，当压差达到设定阈值(通常为初始压差的 2 - 3 倍)时，及时更换过滤器。

在线检测：利用气体分析仪对过滤后气体质量进行实时检测，当检测到杂质含量超标时，立即更换过滤器。

3. 半导体气体过滤器主要采用哪些材料?

半导体气体过滤器常用材料包括：

316L 不锈钢：具有优异的耐腐蚀性、高强度和良好的加工性能，广泛应用于颗粒过滤和高纯度气体过滤。

聚四氟乙烯(PTFE)：化学惰性强，耐腐蚀性极佳，适用于过滤强腐蚀性气体和对表面光洁度要求高的工艺。

镍基合金(如哈氏合金)：在高温、高压和强腐蚀性环境下表现出色，常用于特殊工艺气体过滤。

陶瓷材料：具备高硬度、耐高温、抗磨损等特性，适用于亚微米级颗粒过滤和高温环境。

4. 点用(POU)过滤器在半导体制造中的独特价值?

POU 过滤器作为半导体制造的 “最后一道防线”，具有以下重要价值：

精准防护：紧邻工艺设备安装，可最大限度减少气体输送过程中的二次污染，为设备提供最直接的保护。

质量保障：确保进入设备的气体达到最高纯度标准，有效提升工艺稳定性和产品良率。

灵活适配：可根据不同设备和工艺需求，定制化选择过滤器类型和规格，实现精准过滤。

5. 气体过滤器如何有效避免设备停机?

气体过滤器通过以下方式保障设备稳定运行：

源头控制：拦截气体中的颗粒和化学污染物，防止其进入设备内部，避免部件磨损、堵塞和腐蚀。

性能优化：稳定气体质量，减少因气体波动导致的工艺异常，降低设备故障风险。

寿命延长：保护设备关键部件，延长设备整体使用寿命，减少非计划维护和停机时间。

半导体制造对气体纯度和洁净度的要求达到了近乎苛刻的程度，气体过滤器作为保障生产质量的核心要素，其性能和可靠性直接关系到半导体产业的发展水平。选择合适的气体过滤器，并进行科学的维护管理，是实现半导体高效、稳定生产的关键。

如需获取专业的气体过滤解决方案，欢迎联系 HENGKO 团队，我们将为您提供定制化服务，助力提升生产效能与产品品质。