316L不锈钢高纯度气体过滤器_半导体超纯大流量气体过滤器

在半导体制程的超高纯工艺中，气体纯度需达到 ppb 级甚至 ppt 级，对过滤设备提出极致要求。深圳恒歌 BF 系列高纯大流量过滤器，作为高纯大流量过滤器的典范，为超高纯工艺保驾护航。​

其核心优势在于将高纯度与大流量完美结合：0.003μm 的过滤精度确保气体中微量颗粒被彻底清除，满足超高纯工艺对气源的严苛要求;多柱状介质设计则保障大流量供应，适配高纯度气体输送系统。全 316L 不锈钢材质经过电解抛光处理，内壁光滑度极高，减少气体滞留与吸附，降低交叉污染风险。整体金属构造使其能在高温动态环境下稳定运行，100% 氨气检漏测试更确保无任何泄漏点，有特殊需求可定制加工，满足不同超高纯工艺的个性化需求。​

产品特点：​

● 超高纯度保障，适配 ppb 级工艺需求​

● 大流量设计，满足高纯度气体输送​

● 电解抛光处理，减少气体滞留​

● 耐高温动态环境，稳定性卓越​

● 全面检测认证，品质无虞​

● 支持定制加工，满足特殊需求​