半导体洁净高纯气体过滤器_电子级特气气体过滤器

随着半导体产能的提升，工艺气体的供应量也随之增大，大流量过滤器成为生产线的关键设备。深圳恒歌 BF 系列大流量过滤器，专为满足大流量需求设计，是大流量过滤器中的高效解决方案。​

其创新的多柱状或叠盘状介质设计，大幅增加了有效过滤面积，使得气体在高流量状态下仍能平稳通过，阻力损失远低于传统过滤器，降低了气体输送系统的能耗。在保证大流量的同时，0.003μm 的过滤精度丝毫未打折扣，确保高流量下的气体纯度。全 316L 不锈钢结构强度高，能承受大流量带来的系统压力，长期运行不易变形。整体设计便于安装与维护，适配大产能生产线的连续运行需求，有特殊需求可定制加工，满足不同流量规模的生产要求。​

产品特点：​

● 大流量设计，适配高产能生产​

● 低阻损特性，降低系统能耗​

● 高流量下仍保持超高过滤精度​

● 高强度结构，耐受系统压力​

● 易于安装维护，适合连续运行​

● 支持定制加工，满足特殊需求​