高纯大流量过滤器_高纯电子气特气精密过滤器

半导体制造中，工艺气体的高流量供应与超高纯度保障同样重要。深圳恒歌 BF 系列大流量过滤器，以创新设计实现二者的完美平衡。​

作为大流量过滤器的代表，其多柱状或叠盘状介质结构大幅提升流通效率，满足高产能生产线的气体需求。同时，0.003μm 的超高过滤精度，确保气体中微量颗粒被高效拦截，为光刻、刻蚀等关键制程提供纯净气源。全 316L 不锈钢构造赋予产品优异的耐高温、耐高压与耐腐蚀性能，即使在高温动态环境下也能稳定运行。每台过滤器均经过 100% 完整性测试和氨气检漏测试，确保在洁净室环境中可靠工作，有特殊需求可定制加工，适配不同场景的安装与运行要求。​

产品特点：​

● 大流量设计，适配高产能生产​

● 0.003μm 超高过滤精度，保障气体纯度​

● 全 316L 不锈钢材质，适应严苛环境​

● 耐高温高压，稳定性强​

● 100%出厂检测，品质可靠​

● 支持定制加工，满足特殊需求​