工业高纯气体过滤器OEM制造商
我们专注于提供高纯度、高品质的工艺解决方案,核心在于工艺气体的过滤与净化,可高效分离其中的有害杂质及污染物。
我们的工艺气体过滤器能精准去除各类杂质和污染物,为显示器生产提供有力支持 ——不仅能提升生产效率,还能有效提高像素密度。该系统集成多项先进技术:可高效清除颗粒杂质,兼具大流量特性,同时保持低压差,且释气量极低,对分子污染的去除效果尤为显著。
恒歌气体过滤器采用优质 316L 不锈钢材料制成,能适应室温、高温环境下的惰性或腐蚀性气体,确保良好的相容性。它可高效去除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、碳氢化合物等常见分子杂质。这类杂质无法通过颗粒物过滤清除,必须借助材料反应床处理。在工艺气体过滤净化中,另一个需关注的问题是过滤器可能释放有害杂质或出现颗粒脱落。因此,我们在设计过滤器及净化部件时,将质量放在首位,深知材料的正确选择、清洁度标准的把控、外壳表面处理工艺及专业生产流程等,都是决定质量的关键因素。
该系统应用场景广泛,包括:
● 散料分配系统
● 使用点(POU)
● 大流量气体处理
● 快速排气及载量锁定接口
● 真空室
产品优势:
● 减少气体相关缺陷的产生
● 滤材可定制,适配多种气体过滤需求
● 总体拥有成本(CoO)低
● 过滤器品质处于行业领先水平
● 减少除气现象及颗粒物杂质
我们的工艺气体过滤器,能有效降低关键工艺气流中的颗粒物与杂质含量。欢迎联系我们的工程师,助力您优化系统,通过减少缺陷实现最佳的现场应用效果。
-
超纯气流微粒直通W型一体式过滤器
半导体制造对工艺气体的纯度要求苛刻,任何微小的微粒杂质都可能导致晶圆报废,而传统过滤器往往存在安装复杂、密封风险等问题。深圳恒歌研发的超纯气流微粒...
T 型气体过滤器_三通颗粒过滤器
在半导体制造的某些关键环节,如高压离子注入、高压气相沉积等工艺中,气路系统需承受极高压力,此时过滤器的安全性与耐压性能成为核心考量。深圳恒歌 TF 系...
F型直通式过滤器_高纯工艺气体过滤器
在半导体洁净室有限的安装空间内,设备的体积与性能往往需要精妙平衡。深圳恒歌推出的 F 型直通式过滤器,以 “紧凑设计 + 高效净化” 的双重优势,成为半导体...
不锈钢真空泵过滤片_真空泵真空卡环过滤器
深圳恒歌的不锈钢真空泵过滤片,是真空系统的高纯度保障。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行...
KF系列真空系统气体过滤器_KF40 真空卡环
深圳恒歌大流量真空系统优选 深圳恒歌KF系列真空系统气体过滤器,以KF40真空卡环为连接核心,专为大流量气体传输场景设计,适配中大型真空系统高效运行。 KF4...
真空卡环不锈钢过滤器_KF16 真空卡环
KF16 真空卡环尺寸适配性强,安装便捷,能快速与过滤器及真空设备对接,缩短系统组装时间。搭配过滤器使用时,可实现清洁、低湍流的回填过程,提升产品产量与...
超高纯特气纯化器_电子气特气纯化过滤器
在半导体制程中,超高纯气体的品质直接决定了芯片的性能与良率。深圳恒歌超高纯特气纯化过滤器,专为高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统设计,以顶尖的...
特气柜高纯气体过滤器_电子级特气气体过滤器
在特气柜系统的安全运行中,气体洁净度的把控至关重要。深圳恒歌研发的 HF 系列高压气体专用过滤器,作为特气柜高纯气体过滤器的佼佼者,专为半导体制程中的...
半导体洁净高纯气体过滤器_电子级特气气体过滤器
随着半导体产能的提升,工艺气体的供应量也随之增大,大流量过滤器成为生产线的关键设备。深圳恒歌 BF 系列大流量过滤器,专为满足大流量需求设计,是大流量...
316L不锈钢高纯度气体过滤器_半导体超纯大流量气体过滤器
在半导体制程的超高纯工艺中,气体纯度需达到 ppb 级甚至 ppt 级,对过滤设备提出极致要求。深圳恒歌 BF 系列高纯大流量过滤器,作为高纯大流量过滤器的典范...
高纯大流量过滤器_高纯电子气特气精密过滤器
半导体制造中,工艺气体的高流量供应与超高纯度保障同样重要。深圳恒歌 BF 系列大流量过滤器,以创新设计实现二者的完美平衡。 作为大流量过滤器的代表,其...
0.003μm高纯度气体过滤器_高纯气体精密过滤器
在高科技产业中,气体的纯净度要求越来越高,微小的杂质都可能导致生产失败。深圳恒歌的0.003μm高纯度气体过滤器,以其极致的过滤精度,成为气体净化领域的专...
常见问答
1. 关于适配性:你们的过滤器能满足我的行业 / 工艺需求吗?
答:我们的过滤器覆盖多行业、多工艺场景,可根据您的具体需求精准匹配:
半导体 / 电子行业:有专为光刻、像素生产设计的高精度过滤器,能去除 0.01μm 以下颗粒及分子杂质(如水分、氧气),满足芯片级洁净度要求;
化工行业:针对腐蚀性气体(氯气、氨气等)推出耐腐系列,采用 316L 不锈钢 + 特殊涂层,适配反应釜、管道预处理等工艺;
医疗 / 食品行业:提供符合卫生标准的过滤器,材料无毒无害,可过滤细菌、异味,适配中心供氧、食品包装等场景;
真空 / 高温工艺:真空专用过滤器低释气量,高温系列可耐受 500℃环境,适配镀膜、蒸馏等特殊工艺。
如需进一步确认,可告知您的行业和具体工艺,我们将提供针对性方案。
2. 关于过滤效果:过滤器能去除哪些杂质?精度和效率如何?
答:我们的过滤器可针对性去除不同类型杂质,核心效果如下:
颗粒物过滤:从 0.01μm 到 120μm 颗粒均可拦截,高精度系列对 0.1μm 颗粒拦截率达 99.99%,适配电子、医疗等对洁净度要求极高的场景;
分子杂质过滤:通过分子反应床技术,可去除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、碳氢化合物等,去除率普遍达 99.9% 以上,例如半导体用过滤器对水分的控制可低至露点 - 80℃;
复合过滤:同时处理颗粒和分子杂质,如化工用复合过滤器可在拦截粉尘的同时,去除气体中的酸性分子,一站式解决多重污染问题。
具体过滤效果可提供第三方检测报告佐证。
3. 关于材料与兼容性:过滤器的材质能适应特殊环境吗?(耐温、耐压、耐腐蚀等)
答:我们不锈钢材质耐高压耐高温,耐腐蚀等,确保兼容性:
产品强度高、负载能力强,结构稳定;具备出色的反清洗与再生能力,延长使用寿命;且耐超高压、耐高温(可在 600°C 以下稳定运行)、耐热冲击,能适应多种严苛工况
洁净度:半导体用过滤器内壁经过电解抛光(Ra≤0.02μm),减少颗粒吸附和脱落,避免二次污染。
可根据您的介质类型、温度压力参数,推荐对应材质方案。
4. 关于稳定性与可靠性:过滤器会释放杂质或出现颗粒脱落吗?
答:我们通过多重设计保障稳定性,避免二次污染:
超低释气量:所有过滤器经过严格脱气处理,释气量≤0.1ppm/h,符合 SEM(半导体设备材料)标准,尤其适合半导体、光伏等对气体纯度敏感的行业;
防脱落结构:滤材采用热熔焊接而非胶水粘合,外壳与滤材接口处加设密封垫圈,避免因振动、高温导致的颗粒脱落;
长效稳定:通过加速老化测试验证,过滤器在额定工况下可稳定运行 8000 小时以上,过滤效率衰减率<5%,确保工艺长期稳定。
5. 关于成本与维护:过滤器的初期成本和运行成本如何?维护方便吗?
答:我们在成本控制和维护设计上兼顾经济性:
初期成本:提供标准化产品和定制方案,标准化型号性价比高,定制款可按需优化材质和功能,避免不必要的成本浪费;
维护便利性:滤芯采用快拆式设计,更换无需专业工具,单人 5 分钟即可完成;部分大流量型号支持在线反洗,延长滤芯寿命 30% 以上,减少更换频率。
综合测算,我们的过滤器全生命周期成本(初期 + 运行 + 维护)比行业平均水平低 10%~25%。
6. 关于技术支持:能提供哪些选型、安装或售后保障?
答:我们提供全流程技术支持,解决您的后顾之忧:
选型指导:专家 1 对 1 对接,根据您的气体类型、流量、精度要求等参数,通过选型工具精准推荐型号,避免选型失误;
安装服务:提供详细安装手册(含示意图和视频),如需现场支持,可安排工程师上门指导安装,确保系统适配;
增值服务:新客户可申请免费样品测试,验证过滤效果后再采购;批量采购提供备用滤芯优惠套餐。
如需进一步了解某类过滤器的细节,可直接告知您的需求,我们将快速响应并提供解决方案。